크린룸의 5원칙
5 Principles of Clean Room
크린룸내로 청정한 공기 송풍
크린룸내로 필요한 온·습도 및 실내압유지
크린룸내로 미립자의 유입방지
크린룸내로 미립자의 발생방지
크린룸내로 미립자의 누적을 방지 신속제거
CLEAN ROOM 정의
대기중 입자의 크기
대기중에 떠도는 입자들은 대체로 실조각 모래 입자, 금속분진, 사람 피부의 분진, 담배연기 뿐만 아니라 박테리아, 바이러스, 곰팡이와 같은 미생물 등 매우 작은 물체입니다. 그 입자들의 크기는 0.001㎛에서 100㎛ 정도까지 대기중에 106정도로 광범위하게 포함하고 있습니다.
특히 공기오염이 있는 대도시에서는 1㎥(35.35ft3)의 공기중에 0.5㎛이상의 입자가 약 3억개 존재 합니다. 아래 그림에서는 대기중의 입자의 크기를 나타내고 있습니다.
대기중 입자크기 구분표
사람의 머리카락 두께(100㎛)와 비교하였을 때의 크기
CLEAN ROOM의 규격
크린룸에 관계 있는 규격은 KS, JIS규격이 있습니다. 그러나 일반적으로 ICR(공업용 크린룸)에는 미국연방규격(U.S. Fed, Std. 209D)과 BCR(바이오 크린룸)에는 미국항공우주국규격(NASA NHB 5340.2)이 보편적으로 널리 사용되어 왔으나 현재는 ISO 14644-1로 통합 되었습니다.
ISO Classification number(N) | Maximum concentration limits (Particles/㎥ of air) for particle equal to and larger than the considered size shown below |
|||||
0.1㎛ | 0.2㎛ | 0.3㎛ | 0.5㎛ | 1㎛ | 5㎛ | |
ISO Class 1 | 10 | 2 | - | - | - | - |
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - |
ISO Class 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - |
ISO Class 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 82 | - |
ISO Class 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO Class 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO Class 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
ISO Class 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
Note. Uncertainties related to the measurement process require that concentration data with no more than three significant figures be used in determining the classification level |
NASA NHB 5340.2의 개요
OUTLINE OF NASA NHB 5340.2
미국항공우주국 NASA규격(NHB 5340.2)
(NASA standard (NHB 5340.2))
바이오 크린룸 클래스 BIO Clanroom Class | 미립자 Particle | 세균 Virus | ||
입경 Size | 누적입자수 개/ft3 (개/ℓ) No, of accumulated particles | 부유량 개/ft3 (개/ℓ) Floating amount | 침강량 개/ft3 (개/ℓ) Sediment amount |
|
100 | ≥0.5 | ≤100(≤3.5) | ≤0.1(0.0035) | 1,200(12,900) |
10,000 | ≥0.5 | ≤10,000(≤350) | ≤0.5(9.9176) | 6,000(64,600) |
≥0.5 | ≤65(≤2.3) | |||
100,000 | ≥0.5 | ≤100,000(≤3,500) | ≤2.5(0.0884) | 30,000(323,000) |
≥5.0 | ≤700(≤25) |
미국연방규격
THE U.S. FED. STANDARD
JIS B9920요지
OUTLINE OF JIS B9920
청정도 클라스의 상한농도(개/m³)
Maximum concentration of cleanliness lass (units/㎥)
입경 ㎛ Size | 청정도 클래스 Cleanliness class | ||||||
클래스2 Class 2 | 클래스3 Class 3 | 클래스4 Class 4 | 클래스5 Class 5 | 클래스6 Class 6 | 클래스7 Class 7 | 클래스8 Class 8 |
|
0.1 | 102 | 103 | 104 | 105 | 106 | 107 | 108 |
0.2 | 24 | 236 | 2,360 | 23,600 | - | - | |
0.3 | 10 | 101 | 1,010 | 10,100 | 101,000 | 1,010,000 | 10,100,000 |
0.5 | (3.5) | 35 | 350 | 3,500 | 35,000 | 350,000 | 3,500,000 |
5.0 | - | - | - | - | 29 | 2,900 | 29,000 |
청정도 클래스 입경범위 Cleanliness class size range | 0.1~0.5 | 0.1~0.5 | 0.3~5.0 |
KS규격
KS STANDARD
CLEAN ROOM의 분류
크린룸은 기류방식에 따라 다음과 같은 3가지의 형태로 분류할 수 있습니다.
CLASS : 1~1,000
수직 층류형 크린룸
VERTICAL STREAMLINE TYPE CLEAN ROOM
천정 전면에 고성능 필터를 붙이고 바닥에는 격자면을 설치하여 전면 흡입함으로서 청정공기를 수직으로 흐르게 하는 방식입니다. 실내 공간에서 발생한 부유미립자는 그 위치에서 곧 하류로 흘러 내려가 주위에는 영향을 주지 않기 때문에 초청정공간 Class 1에서 Class 100의실현이 가능합니다. 취출풍속은0.23~0.5m/sec 정도입니다.
CLASS : 100~1,000
수평 층류형 크린룸
HORIZONTAL STREAMLINE FLOW CLEAN ROOM
한쪽의 내벽 전면에 고성능 필터를 설치하여 반대쪽의 벽체 전면에서 빨아들여 청정공기를 수평으로 흐르게 하는 방식입니다. 상류측의 작업영향으로 하류측에서는 청정도가 저하되며 취출풍속은 0.45m/sec 이상입니다
CLASS : 1,000~10,000
비층류형 크린룸
NON-STREAMLINE FLOW TYPE CLEAN ROOM
일반 공기조화설비의 취출구에 고성능 필터를 취부한 방식으로 청정한 취출공기에 의해 실내 오염원을 희석하여 청정도를 상승시키는 희석법입니다.
CLEAN ROOM 시스템 분야 및 청정도
크린룸은 기류방식에 따라 다음과 같은 3가지의 형태로 분류할 수 있습니다.